智能型烤膠機(jī)，自動(dòng)烤膠臺(tái)簡(jiǎn)介：

   光刻工藝及其相干技術(shù)是微電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）加工工藝的重要構(gòu)成部門(mén)。均膠以及烘焙是光刻工藝中不成缺少的一道兒工序，為增長(zhǎng)膠層與硅片表面粘附能力，提高在接觸式暴光中膠層與掩模版接觸時(shí)的耐磨性能及不變膠層的感光靈敏度。高精密程控烤膠機(jī)是一種設(shè)計(jì)為精確控溫、準(zhǔn)確計(jì)時(shí)和接近式加熱的高性能實(shí)驗(yàn)室設(shè)備，可實(shí)現(xiàn)智能化編程烤膠控制。

烤膠機(jī)升溫速度快，由高性能數(shù)顯溫控表加熱控制，長(zhǎng)壽命、高熱均勻性的發(fā)熱部件供熱，高硬度、耐腐蝕的陽(yáng)極氧化鋁面板。

適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面涂覆后，薄膜烘干，固化。熱板溫度穩(wěn)定度高，重復(fù)性好?？稍诠さV企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學(xué)之用。

智能型烤膠機(jī)技術(shù)參數(shù)：

加熱尺寸：220*220mm,適用于?200毫米（8英寸）圓片或200x 200毫米方片以下尺寸產(chǎn)品；

溫度范圍：RT～300/400/500°C ；

溫度精度：0.1°C；

溫度均勻性：≤±1%℃；

電動(dòng)頂針調(diào)節(jié)高度: 0～30mm；

加熱臺(tái)表面：耐腐蝕硬質(zhì)陽(yáng)極氧化鋁制成；

加熱臺(tái)頂蓋：優(yōu) 質(zhì)不銹鋼制成；

加熱臺(tái)外殼：優(yōu) 質(zhì)冷軋板噴塑；

控制器單元：7寸全彩觸摸屏，高級(jí)PLC控制，實(shí)現(xiàn)在時(shí)間內(nèi)自動(dòng)升降，可以定時(shí)取片；

電壓：220V / 50HZ；

功率：1000W；

輔助功能： 內(nèi)置真空泵， 自帶真空吸附功能和四組限位。

智能型烤膠機(jī)，自動(dòng)烤膠臺(tái)特點(diǎn)：

1、烘烤時(shí)間減少；

2、重復(fù)性高；

3、對(duì)薄膜的固化效果好；

4、烤膠機(jī)整個(gè)面板溫度均勻，對(duì)基片膜層固化效果非常好；

5、陽(yáng)極硬質(zhì)氧化鋁面板不粘面板；

6、帶頂升功能，可實(shí)現(xiàn)接近模式加熱烤膠；

7、程控準(zhǔn)確計(jì)時(shí)，精確控溫，頂升高度可調(diào)；

8、特殊的隔熱設(shè)計(jì)和長(zhǎng)壽命、高均勻性發(fā)熱部件；