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silicon wafer HMDS烤箱，HMDS OVEN1、預(yù)處理性能更好 2、處理更加均勻 3、效率高 4、更加節(jié)省藥液 5、更加環(huán)保和安全 6、低液報(bào)警裝置 7、可自動(dòng)吸取HMDS功能 8、可自動(dòng)添加HMDS功能 9、HMDS藥液泄漏報(bào)警功能 10、HMDS緊急疏散功能 11、數(shù)據(jù)記錄打印功能

智能型HMDS烘箱，全自動(dòng)HMDS預(yù)處理系統(tǒng)預(yù)處理性能更好，更加均勻；效率高,一次可以處理多達(dá)4盒的晶片；更加節(jié)省藥液；低液報(bào)警、防藥液泄漏等具有很強(qiáng)的安全保護(hù)功能；，有可自動(dòng)吸取添加HMDS功能，智能型的程式設(shè)定，一鍵完成作業(yè)。