上海百級潔凈烘箱：

    光刻工藝的八道工序為：晶圓清洗、預(yù)烘培和底漆涂敷、光刻膠自旋涂敷、軟烘烤、對準和曝光、曝光后烘烤，以及顯影、硬烘烤和圖形檢測，然而工藝中的烘烤步驟需要百級潔凈烘箱來完成。百級潔凈烘箱也應(yīng)用于精密電子元件、高溫烘烤、堅膜烘烤、半導(dǎo)體元件封裝、治具干燥、銀膠固化、晶圓退火、芯片高溫測試、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求，適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業(yè).

上海百級潔凈烘箱技術(shù)性能：

無塵等級：Class 100;     

溫度范圍： RT+20～250/ 350/500℃；

溫度均勻度：±2%℃;    

溫度波動度：±1℃     

溫控精度：±0.1℃;        

工作尺寸：350*350*350,450*450*450*,500*500*500,600×600×500，多尺寸定制

百級潔凈烘箱操作界面

采用液晶觸摸屏溫度控制器，內(nèi)置曲線查詢、

PID自整定、高溫上限報警、

運行方式：定值、程式

語言：中、英文

智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）用途：

  將HMDS氣相沉積至半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料表面后，經(jīng)系統(tǒng)加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?/span>其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。

智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）特點：

HMDS 藥液泄漏報警提示功能

HMDS低液位報警提示功能

工藝數(shù)據(jù)記錄功能

藥液管道預(yù)熱功能

程序鎖定保護等功能

智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）技術(shù)性能：

1.尺寸（深*寬*高）

內(nèi)腔尺寸：450×450×450（mm）（可定制）

2. 材質(zhì)

外箱采用冷軋板噴塑，內(nèi)箱采用 316L 醫(yī)用級不銹鋼

3.溫度范圍

RT+50-250℃

4.溫度分辨率

0.1℃

5.溫度波動度

≤±0.5

6 真空度

≤133pa（1torr）

7.電源及總功率

AC 220V±10% / 50HZ，總功率約 3.5KW

8.控制儀表

人機界面

9.擱板層數(shù)

2 層

10.HMDS控制

可控制HMDS 藥液添加量

11.真空泵

無油渦旋真空泵