真空無氧化烤箱（BCB厭氧固化烤烘箱）由真空泵、真空組件、真空測量等組成；數(shù)顯真空控制器，顯示腔內(nèi)相對壓強并可根據(jù)工藝要求控制壓力值。

真空無氧烤箱是將涂敷BCB或PI的襯底放入真空無氧烘箱中，通入N2→真空置換后，采用多級升溫保溫的方式，在規(guī)定的時間從室溫升至第一溫度階段，并在該溫度段保溫1-2h，再在規(guī)定的時間從第一溫度升至第二溫度階段，并在該溫度段保溫一定的時間；隨后增通過輔助的降溫系統(tǒng)（水冷和風(fēng)冷），將退火爐的溫度降至80度左右，完成固化。

溫度范圍： 120～ 400/500℃；
溫度波動度：≤±1℃
升溫速度：0-10℃/min；
降溫方式：水冷降溫
氮氣控制：電磁閥+可調(diào)試流量計控制
氧含量檢測：氧濃度檢測儀，氧含量可達(dá)20ppm
工作腔尺寸（mm）：

W350×H350×D350

W500×H500×D600

W600×H600×D600

可定制

真空無氧化烤箱（BCB厭氧固化烤烘箱）溫控系統(tǒng)：
操作界面：人機界面+PLC，可一鍵運行，多個工藝編輯；
溫度測量：K型熱偶；
控制儀表：高精度溫度控制器，PID調(diào)節(jié)，控制精度0.1℃，可程式觸摸屏控制器可選擇；
超溫保護(hù)儀表：獨立于工作室主控制的超溫保護(hù)系統(tǒng)，保證試驗品的安全；
控制系統(tǒng)：主要電器件均采用施耐德、正泰等品牌元氣件；