不銹鋼無(wú)塵烤箱，雙層無(wú)塵烘箱應(yīng)用范圍
  不銹鋼無(wú)塵烤箱應(yīng)用于目前關(guān)鍵的半導(dǎo)體電子行業(yè)（如硅片干燥，堅(jiān)膜烘烤，裝片機(jī)后道烘烤，塑封后烘烤，治具烘烤等），另外，雙層無(wú)塵烘箱還在LED制造行業(yè)中用于烘烤玻璃基板、無(wú)機(jī)材料行業(yè)中用于材料高精度工序。也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、MEMS、智能傳感器、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門(mén)；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。
不銹鋼無(wú)塵烤箱，雙層無(wú)塵烘箱技術(shù)性能
內(nèi)腔尺寸：300*300*300；450*450*450；500*600*700；800*800*900......定制尺寸；?
腔體數(shù)量：1-8個(gè)可選，每腔單獨(dú)控制；?
材質(zhì)：內(nèi)箱：SUS304不銹鋼或SUS316不銹鋼，外箱材質(zhì)：冷軋板噴塑，或304不銹鋼；?
操作系統(tǒng)：LED數(shù)字控制，多彩觸摸屏式控制，人機(jī)界面+PLC控制，自動(dòng)化智能控制（MES）等；?
無(wú)塵等級(jí)：Class 100；   
無(wú)氧功能：≤20PPM；?（選配）  
輔助降溫功能：風(fēng)冷、水冷；?（選配）
工業(yè)智能系統(tǒng)：MES系統(tǒng)、      SECS / GEM系統(tǒng)；?（選配）
掃碼槍?zhuān)?作業(yè)時(shí)掃碼可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)調(diào)取所需作業(yè)程序；?
溫度范圍：RT+10～200、300℃、450℃；
溫度均勻度：≤±2%℃；  
溫度波動(dòng)度：±0.5℃（空載）；        
溫控精度：±0.1℃；
進(jìn)氣口：φ8mmN2進(jìn)氣；
排風(fēng)口：耐高溫不銹鋼排風(fēng)口；     
電源：380v , 50Hz三相五線(xiàn)制。