真空固化烤箱,防氧化真空系統(tǒng)用于鍵合前鍵合材料的真空處理 、ITO膜退火,PR膠排膠固化等工藝。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子產(chǎn)品、醫(yī)療衛(wèi)生等行業(yè),適用于工廠、高等院校、科研等場(chǎng)所。
一、真空固化烤箱,防氧化真空系統(tǒng)用途
無氧真空系統(tǒng)用于鍵合前鍵合材料的真空處理 、ITO膜退火,PR膠排膠固化等工藝。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子產(chǎn)品、醫(yī)療衛(wèi)生等行業(yè),適用于工廠、高等院校、科研等場(chǎng)所。
二、真空固化烤箱,防氧化真空系統(tǒng)技術(shù)性能參數(shù)
1、設(shè)備名稱: | |
名稱 | 無氧真空系統(tǒng) |
2、設(shè)備型號(hào): | |
型號(hào) | JS-GYZF系列 |
3、設(shè)備主要技術(shù)參數(shù): | |
3.1 工作室尺寸 | 450×450×450,600×600×600(mm) |
3.2 材質(zhì) | 內(nèi)箱采用316L醫(yī)用級(jí)不銹鋼,外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板靜電噴塑 |
3.3 溫度范圍 | RT+10-300/450℃ |
3.4 溫度分辨率 | 0.1℃ |
3.5 溫度波動(dòng)度 | ≤±1℃ |
3.6 溫度均勻度 | ≤2%MFS |
3.7 升溫速率 | ≤10℃/min |
3.8 降溫速率 | 特殊要求數(shù)據(jù) |
3.9 真空度 | ≤133pa或要求數(shù)據(jù) |
3.10 電源及總功率 | AC220V、 380V±10% / 50HZ |
3.11 溫度控制儀表 | 可編程觸摸屏儀表,可校準(zhǔn)溫度,PID自整定等功能 |
3.12擱板層數(shù) | 316L不銹鋼托盤2層,配有限位裝置 |
3.13真空泵 | 油泵/干泵 |
3.14 腔門密封圈 | 采用耐高溫硅橡膠密封圈 |
3.15 狀態(tài)指示燈 | 配有三色指示燈及蜂鳴器來提示機(jī)臺(tái)運(yùn)行狀態(tài) |
3.16 氧含量 | 特殊要求數(shù)據(jù) |
3.17 潔凈度 | Class100、1000級(jí) |
3.18 降溫系統(tǒng) | 選配 |
3.19 氮?dú)饪刂?/p> | 工藝要求 |
3.20 安全保護(hù)裝置 | 安全的接地保護(hù)裝置,超溫保護(hù)及報(bào)警裝置,漏電保護(hù)裝置。 |