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堅(jiān)膜烘箱 百級(jí)潔凈烘箱 氮?dú)鉄o(wú)塵烘箱是通過(guò)加溫烘烤使膠膜更加牢固的粘附在晶圓表面，并可以增加膠層的抗刻蝕能力的一道光刻膠工藝。

六箱體氮?dú)夂嫦?，多倉(cāng)式潔凈烘箱選配功能： 輔助降溫：水冷、風(fēng)冷降溫 操作界面：人機(jī)界面+PLC,工控電腦 錄入信息：掃碼槍 監(jiān)測(cè)功能：氧含量分析儀等

精密高溫?zé)岚?，掩膜版加熱臺(tái)采用高性能電熱管加熱，升溫快，熱效率高，使用壽命更長(zhǎng)，維護(hù)簡(jiǎn)單；

潔凈無(wú)氧烘箱，氮?dú)鉄o(wú)氧 烘箱用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽(yáng)能、新材料等行業(yè).半導(dǎo)體晶片、半導(dǎo)體封裝和MEMS器件的批量生產(chǎn)。主要用于PI/CPI固化，BCB固化，PBO固化，LCP纖維熱處理。

后曝光氮?dú)夂嫦?，PEB無(wú)塵烘箱所使用的高溫（100-130°C）會(huì)使光敏化合物擴(kuò)散，從而消除駐波波紋.百級(jí)潔凈度無(wú)塵化，專用于半導(dǎo)體，集成電路。