少妇人妻精品一区二区三区,色综亚洲国产vv在线观看,8090成人午夜精品无码,久久大香香蕉国产

技術(shù)文章您的位置:網(wǎng)站首頁(yè) >技術(shù)文章 > HMDS烘箱在第三代半導(dǎo)體材料中的工藝

HMDS烘箱在第三代半導(dǎo)體材料中的工藝

更新時(shí)間:2023-10-07   點(diǎn)擊次數(shù):812次

HMDS烘箱在第三代半導(dǎo)體材料中的工藝

  第三代半導(dǎo)體是以碳化硅(SiC)、氮化鎵(GaN)、氧化鋅(ZnO)、金剛石、氮化鋁(AlN)為代表的寬禁帶(禁帶寬度Eg>2.3eV)的半導(dǎo)體材料。其中又以SiC和GaN為最核心的材料。然而這些新材料襯底在光刻模塊中的標(biāo)準(zhǔn)步驟是:脫水烘烤、HMDS prime、抗蝕劑旋轉(zhuǎn)/噴涂、軟烘烤、對(duì)準(zhǔn)、曝光、曝光后烘烤、顯影硬烘烤和除渣。

  HMDS prime - 在晶圓表面涂上附著力促進(jìn)劑。附著力促進(jìn)劑用于與晶圓表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng),并用有機(jī)官能團(tuán)取代 -OH 基團(tuán),與羥基不同,該官能團(tuán)對(duì)光刻膠具有良好的附著力。硅烷通常用于此目的,最常見(jiàn)的是六甲基二硅烷 (HMDS)。

  施加粘合促進(jìn)劑的優(yōu)選方法是將基材置于 HMDS 蒸汽中,通常是在升高的溫度和降低的壓力下。這允許在沒(méi)有過(guò)多 HMDS 沉積的情況下對(duì)基材進(jìn)行良好的涂覆,并且更高的溫度會(huì)導(dǎo)致與硅烷醇基團(tuán)的反應(yīng)好。

  文中所要求的HMDS蒸汽及升高溫度和降低壓力的制作工藝,可在HMDS烘箱中完成,無(wú)需獨(dú)立操作,一鍵作業(yè)。

HMDS烘箱技術(shù)規(guī)格:

內(nèi)腔尺寸:300×300×300、450×450×450(mm)(可定制)

材質(zhì):內(nèi)箱采用 316L 醫(yī)用級(jí)不銹鋼

溫度范圍:RT+30-200℃

真空度:≤1torr

電源及總功率:AC 220V±10% / 50HZ,總功率約2.8KW

控制儀表:人機(jī)界面,一鍵運(yùn)行

擱板層數(shù):2 層

HMDS控制:可控制HMDS添加量

真空泵:無(wú)油渦旋真空泵


HMDS藥液泄漏報(bào)警提示功能

HMDS低液位報(bào)警提示功能

工藝數(shù)據(jù)記錄功能

藥液管道預(yù)熱功能

程序鎖定保護(hù)等功能



分享到:

返回列表返回頂部
COPYRIGHT @ 2016 網(wǎng)站地圖    滬ICP備16022591號(hào)-1   

上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司主營(yíng)產(chǎn)品:無(wú)氧化烘箱,精密熱風(fēng)烘箱,晶元烘箱,百級(jí)氮?dú)饪鞠?/strong>,無(wú)氧烤箱
地址:上海奉賢柘林工業(yè)區(qū)3213號(hào)

環(huán)保在線

推薦收藏該企業(yè)網(wǎng)站
色噜噜亚洲精品中文字幕| 成人av电影网| 国产午夜三级一区二区三 | 日本极品人妻videossex| 国产裸体舞一区二区三区| 亚洲色婷婷一区二区三区| 久草99| 国产AV无码精品色午夜| 色狠狠一区二区三区香蕉| 成人综合av| 亚洲性色AV一区二区三区| 国产精品亚亚洲欧关中字幕 | 97无码免费人妻超级碰碰碰| 娇妻在我面前被黑人撑爆| 亚洲成a人片在线观看中文| 国产丝袜美腿一区二区三区| 精品久久久久久中文字幕202| 欧美性大战久久久久久| 国产成人啪精视频精东传媒网站 | 卢氏县| 国产在线精品一区二区| h片在线免费观看| 色一情一乱一伦一区二区三欧美| 国产好爽…又高潮了毛片| 色播av| 人妻少妇久久中文字幕| 91精品国产乱码在线观看入| 日本美女一区二区| 在线欧美精品一区二区三区| 欧美日韩激情综合一区二区不卡| 中文字幕人妻熟妇| 精品久久久久久无码中文野结衣| 人妻黄片| 久久九九日本韩国精品| 妺妺窝人体色777777| 荡艳乱lu∩岳| 无码A级毛片免费视频内谢| 一色桃子人妻成熟系列av| 亚洲成a人片在线观看无码专区| 十九岁日本电影免费粤语| 国产在线不卡人成视频|